Manómetro de vacío capacitivo de 0 a 10 Torr

Características principales

Alta precisión y excelente estabilidad a largo plazo.
Principio de detección capacitiva metálica para una medición de vacío fiable
Diafragma de aleación de níquel con buena resistencia a la corrosión y al desgaste.
Adecuado para rangos de baja presión de vacío desde 0 a 1 Torr hasta 0 a 1000 Torr.
Tiempo de respuesta rápido, inferior a 20 ms.
Amplio rango de temperatura del medio y de la temperatura de almacenamiento.
Alta resistencia a la sobrecarga para entornos de procesos exigentes.
Diseño de circuito antiinterferencias optimizado
Opciones de salida de voltaje estándar para una fácil integración del sistema.
Carcasa de acero inoxidable 304SS para uso industrial duradero.

Descripción del Producto

1. Descripción

JW-VM01(JY11) El manómetro de vacío capacitivo está diseñado para la medición precisa de bajas presiones de vacío en aplicaciones industriales y científicas exigentes. Basado en tecnología de detección capacitiva metálica y un diafragma de aleación de níquel, ofrece una salida lineal estable, respuesta rápida, resistencia a la corrosión y un rendimiento fiable en procesos de semiconductores, PECVD, esterilización por plasma, aplicaciones nucleares y recubrimiento al vacío.

2. Descripción general del producto

JW-VM01(JY11) Este manómetro de vacío capacitivo metálico utiliza un diafragma de aleación de níquel soldado entre los extremos de dos electrodos. Cuando la presión de vacío varía, la deformación del diafragma provoca un cambio en la distancia entre este y el electrodo, generando una variación lineal de la capacitancia. Mediante un procesamiento específico de acondicionamiento, amplificación, linealización y supresión de interferencias, la señal de capacitancia se convierte en una salida de voltaje estándar para el monitoreo y control del proceso.

Con carcasa de acero inoxidable, diafragma de aleación de níquel, amplio rango de temperatura de funcionamiento y alta estabilidad, este sensor de presión de vacío es adecuado para aplicaciones que requieren una medición precisa y repetible de baja presión en condiciones de proceso adversas.

Parámetro	Especificación
Tipo de producto	Manómetro de vacío capacitivo metálico
Rango de medición	0 a 1 Torr 0 a 10 Torr 0 a 100 Torr 0 a 1000 Torr
Fuente de alimentación	De 15 a 30 V CC
Señal de salida	0 a 10 VCC 0 a 5 VCC
Exactitud	0,2%FS 0,5%FS 1,0%FS a 25 °C
Temperatura de compensación	De 0 a 50 °C
Temperatura del medio	-20 a 80 °C
Temperatura de almacenamiento	-40 a 85 °C
deriva de temperatura	≤0,04%FS por °C
Estabilidad	0,5%FS por año
Tiempo de respuesta	≤20 ms
Medio de medición	Gas compatible con aleación de níquel
Material de vivienda	Acero inoxidable 304
Material del diafragma	aleación de níquel
Consumo actual	≤10 mA
Carga de salida	>10K Ω
Conexión eléctrica	Consulte la opción de cableado.
Conexión de procesos	Ver dibujo esquemático

3. Configuración típica del modelo

Artículo	Configuración
Modelo de producto	Manómetro de vacío capacitivo metálico WM01
Rango	De 0 a 10 Torr
Producción	De 0 a 10 V CC
Fuente de alimentación	De 15 a 30 V CC
Conexión de procesos	KF16
Conector eléctrico	DB 15

3. Escenarios de aplicación

Cámaras de procesamiento de semiconductores
Control de procesos PECVD Esterilizadores de plasma
Sistemas de vacío para la industria nuclear
Equipos de recubrimiento al vacío
Monitorización de procesos de bajo vacío
Sistemas de vacío de laboratorio
Equipos de control de vacío industrial

Preguntas frecuentes

Q

1. ¿Para qué se utiliza un manómetro de vacío capacitivo?

A

Un manómetro de vacío capacitivo se utiliza para medir bajas presiones de vacío en sistemas de proceso como cámaras de semiconductores, equipos PECVD, esterilizadores de plasma, máquinas de recubrimiento al vacío y sistemas de control de vacío industrial.
Q

2. ¿Qué rangos de presión están disponibles para este manómetro de vacío?

A

Los rangos disponibles incluyen de 0 a 1 Torr, de 0 a 10 Torr, de 0 a 100 Torr y de 0 a 1000 Torr. La versión de 0 a 10 Torr se utiliza habitualmente para la monitorización precisa de procesos en bajo vacío.
Q

3. ¿Qué señales de salida admite este manómetro de vacío?

A

El medidor admite opciones de salida de voltaje estándar, incluyendo de 0 a 10 VCC y de 0 a 5 VCC, lo que lo hace adecuado para la integración con PLC, controladores y sistemas de adquisición de datos.
Q

4. ¿Puede JW-IoT proporcionar este manómetro de vacío capacitivo para proyectos OEM?

A

Sí. JW-IoT puede brindar soporte para el suministro OEM y basado en proyectos de manómetros de vacío capacitivos, incluyendo la selección de rango, la configuración de salida, la conexión al proceso y la adaptación a la aplicación.
Q

5. ¿Es el sensor adecuado para entornos con gases corrosivos?

A

El medio de medición debe ser compatible con la aleación de níquel. Para gases corrosivos o de procesos especiales, se debe confirmar la compatibilidad del material antes de la selección.
Q

6. ¿Cuál es el tiempo de respuesta de este manómetro de vacío?

A

El tiempo de respuesta es ≤20 ms, lo que permite una monitorización rápida de la presión de vacío y un control eficaz del proceso.
Q

7. ¿JW-IoT admite la integración con sistemas de monitorización?

A

Sí. JW-IoT puede brindar asistencia en la selección de sensores y ayudar a combinar el manómetro de vacío con sistemas de adquisición de datos, controladores o plataformas de monitoreo industrial.
Q

8. ¿Qué materiales se utilizan en el medidor?

A

La carcasa está fabricada en acero inoxidable 304, y el diafragma es de aleación de níquel para garantizar un rendimiento estable en la detección de vacío.
Q

9. ¿Por qué elegir JW-IoT para productos de medición de presión de vacío?

A

JW-IoT proporciona productos de detección industrial y soporte de soluciones para la monitorización de procesos, la automatización y la recopilación de datos basada en IoT, ayudando a los clientes a seleccionar los sensores adecuados para una integración fiable del sistema.