Емкостной вакуумный манометр от 0 до 10 Торр

Основные характеристики

Высокая точность и превосходная долговременная стабильность.
Принцип емкостного измерения с использованием металла для надежного измерения вакуума.
Диафрагма из никелевого сплава с хорошей коррозионной стойкостью и износостойкостью.
Подходит для работы в диапазоне низкого вакуумного давления от 0 до 1 Торр и от 0 до 1000 Торр.
Быстрое время отклика — менее 20 мс.
Широкий диапазон температур среды и температур хранения.
Высокая устойчивость к перегрузкам для работы в сложных технологических условиях.
Оптимизированная конструкция схемы защиты от помех
Стандартные варианты выходного напряжения для упрощения интеграции в систему.
Корпус из нержавеющей стали 304SS для долговечного промышленного применения.

Делиться:

Описание продукта

1. Описание

JW-VM01(JY11) Емкостной вакуумный манометр предназначен для точного измерения низкого вакуумного давления в сложных промышленных и научных условиях. Основанный на технологии емкостного измерения с использованием металла и диафрагмы из никелевого сплава, он обеспечивает стабильный линейный выходной сигнал, быстрое реагирование, коррозионную стойкость и надежную работу в полупроводниковых, PECVD, плазменных стерилизаторах, ядерных и вакуумных процессах нанесения покрытий.

2. Обзор продукта

JW-VM01(JY11) Этот металлический емкостной вакуумный манометр использует диафрагму из никелевого сплава, приваренную между двумя концами электродов. При изменении вакуумного давления деформация диафрагмы вызывает изменение расстояния между диафрагмой и электродом, генерируя линейное изменение емкости. Благодаря специальной обработке сигнала, усилению, линеаризации и защите от помех, сигнал емкости преобразуется в стандартное выходное напряжение для мониторинга и управления технологическим процессом.

Благодаря корпусу из нержавеющей стали, диафрагме из никелевого сплава, широкому диапазону рабочих температур и высокой стабильности, этот вакуумный датчик давления подходит для применений, требующих точного и воспроизводимого измерения низкого давления в жестких технологических условиях.

Параметр	Спецификация
Тип продукта	Металлический емкостной вакуумный манометр
Диапазон измерения	0–1 Торр 0–10 Торр 0–100 Торр 0–1000 Торр
Источник питания	15–30 В постоянного тока
Выходной сигнал	от 0 до 10 В постоянного тока от 0 до 5 В постоянного тока
Точность	0,2%FS 0,5%FS 1,0%FS при 25°C
Компенсационная температура	от 0 до 50°C
Температура среды	от -20 до 80°C
Температура хранения	от -40 до 85°C
Температурный дрейф	≤0,04%FS на °C
Стабильность	0,5%FS в год
Время отклика	≤20 мс
Измерительная среда	Газосовместимый никелевый сплав
Материалы для корпуса	304SS
Материал диафрагмы	никелевый сплав
Текущее потребление	≤10 мА
Выходная нагрузка	>10 кОм
Электрическое соединение	См. вариант подключения.
Процесс подключения	См. контурный рисунок.

3. Типичная конфигурация модели

Элемент	Конфигурация
Модель продукта	Металлический емкостной вакуумный манометр WM01
Диапазон	от 0 до 10 Торр
Выход	от 0 до 10 В постоянного тока
Источник питания	15–30 В постоянного тока
Процесс подключения	KF16
Электрический разъем	ДБ 15

3. Сценарии применения

Камеры для обработки полупроводников
Управление процессом PECVD. Плазменные стерилизаторы.
вакуумные системы для атомной промышленности
Оборудование для вакуумного нанесения покрытий
Мониторинг процессов в условиях низкого вакуума
Лабораторные вакуумные системы
Промышленное вакуумное контрольное оборудование

Часто задаваемые вопросы

Q

1. Для чего используется емкостной вакуумный манометр?

A

Емкостной вакуумный манометр используется для измерения низкого вакуумного давления в технологических системах, таких как камеры для полупроводников, оборудование для PECVD, плазменные стерилизаторы, вакуумные машины для нанесения покрытий и промышленные системы управления вакуумом.
Q

2. Какие диапазоны давления доступны для этого вакуумметра?

A

Доступные диапазоны включают 0–1 Торр, 0–10 Торр, 0–100 Торр и 0–1000 Торр. Версия 0–10 Торр обычно используется для точного мониторинга технологических процессов в условиях низкого вакуума.
Q

3. Какие выходные сигналы поддерживает этот вакуумный манометр?

A

Прибор поддерживает стандартные варианты выходного напряжения, включая 0–10 В постоянного тока и 0–5 В постоянного тока, что делает его подходящим для интеграции с ПЛК, контроллерами и системами сбора данных.
Q

4. Может ли JW-IoT предоставить этот емкостной вакуумметр для OEM-проектов?

A

Да. JW-IoT может оказывать поддержку OEM-производителям и проектам по поставке емкостных вакуумных манометров, включая выбор диапазона, конфигурацию выходных сигналов, подключение к технологическому процессу и согласование с областью применения.
Q

5. Подходит ли датчик для работы в средах с агрессивными газами?

A

Измеряемая среда должна быть газосовместима с никелевым сплавом. Для коррозионных или специальных технологических газов совместимость материала следует подтвердить перед выбором.
Q

6. Каково время отклика этого вакуумметра?

A

Время отклика составляет ≤20 мс, что позволяет быстро контролировать вакуумное давление и управлять технологическим процессом.
Q

7. Поддерживает ли JW-IoT интеграцию с системами мониторинга?

A

Да. Компания JW-IoT может оказать поддержку в выборе датчиков и помочь подобрать вакуумметр, совместимый с системами сбора данных, контроллерами или промышленными платформами мониторинга.
Q

8. Из каких материалов изготовлен этот измерительный прибор?

A

Корпус изготовлен из нержавеющей стали марки 304, а диафрагма — из никелевого сплава, что обеспечивает стабильную работу датчика вакуума.
Q

9. Почему стоит выбрать JW-IoT для измерения вакуумного давления?

A

Компания JW-IoT предоставляет промышленные датчики и решения для мониторинга процессов, автоматизации и сбора данных на основе Интернета вещей, помогая клиентам выбирать подходящие датчики для надежной интеграции в систему.