Pengukur Tekanan Vakum Kapasitif 0 hingga 10 Torr

Fitur Utama

Akurasi tinggi dan stabilitas jangka panjang yang sangat baik.
Prinsip penginderaan kapasitif logam untuk pengukuran vakum yang andal
Diafragma paduan nikel dengan ketahanan korosi dan keausan yang baik.
Cocok untuk rentang tekanan vakum rendah dari 0 hingga 1 Torr hingga 0 hingga 1000 Torr.
Waktu respons cepat dalam 20 ms
Rentang suhu media dan suhu penyimpanan yang luas
Ketahanan beban berlebih yang kuat untuk lingkungan proses yang menuntut.
Desain sirkuit anti-interferensi yang dioptimalkan
Opsi keluaran tegangan standar untuk integrasi sistem yang mudah.
Casing baja tahan karat 304SS untuk penggunaan industri yang tahan lama.

Membagikan:

Deskripsi Produk

1. Deskripsi

JW-VM01(JY11) Pengukur tekanan vakum kapasitif dirancang untuk pengukuran tekanan vakum rendah yang akurat dalam aplikasi industri dan ilmiah yang menuntut. Berdasarkan teknologi penginderaan kapasitif logam dan diafragma paduan nikel, alat ini memberikan keluaran linier yang stabil, respons cepat, ketahanan terhadap korosi, dan kinerja yang andal dalam proses semikonduktor, PECVD, sterilisasi plasma, nuklir, dan pelapisan vakum.

2. Gambaran Umum Produk

JW-VM01(JY11) Pengukur tekanan vakum kapasitif logam ini menggunakan diafragma paduan nikel yang dilas di antara dua ujung elektroda. Ketika tekanan vakum berubah, deformasi diafragma menyebabkan perubahan jarak antara diafragma dan elektroda, menghasilkan variasi kapasitansi linier. Melalui pengkondisian sinyal, penguatan, linearisasi, dan pemrosesan anti-interferensi khusus, sinyal kapasitansi dikonversi menjadi keluaran tegangan standar untuk pemantauan dan pengendalian proses.

Dengan casing baja tahan karat, diafragma paduan nikel, rentang suhu operasi yang luas, dan stabilitas tinggi, sensor tekanan vakum ini cocok untuk aplikasi yang membutuhkan pengukuran tekanan rendah yang presisi dan berulang dalam kondisi proses yang berat.

Parameter	Spesifikasi
Jenis Produk	Pengukur tekanan vakum kapasitif logam
Rentang Pengukuran	0 hingga 1 Torr 0 hingga 10 Torr 0 hingga 100 Torr 0 hingga 1000 Torr
Catu Daya	15 hingga 30 VDC
Sinyal Keluaran	0 hingga 10 VDC 0 hingga 5 VDC
Ketepatan	0,2%FS 0,5%FS 1,0%FS pada 25°C
Suhu Kompensasi	0 hingga 50°C
Suhu Media	-20 hingga 80°C
Suhu Penyimpanan	-40 hingga 85°C
Pergeseran Suhu	≤0,04%FS per °C
Stabilitas	0,5%FS per tahun
Waktu Respons	≤20 ms
Sedang Mengukur	Gas yang kompatibel dengan paduan nikel
Bahan Perumahan	304SS
Bahan Diafragma	Paduan nikel
Konsumsi Saat Ini	≤10 mA
Beban Keluaran	>10K Ω
Sambungan Listrik	Lihat opsi pengkabelan
Koneksi Proses	Lihat gambar garis luarnya

3. Konfigurasi Model Khas

Barang	Konfigurasi
Model Produk	Pengukur tekanan vakum kapasitif logam WM01
Jangkauan	0 hingga 10 Torr
Keluaran	0 hingga 10 VDC
Catu Daya	15 hingga 30 VDC
Koneksi Proses	KF16
Konektor Listrik	DB 15

3. Skenario Aplikasi

Ruang pemrosesan semikonduktor
Sterilisator plasma kontrol proses PECVD
Sistem vakum industri nuklir
Peralatan pelapisan vakum
Pemantauan proses vakum rendah
Sistem vakum laboratorium
Peralatan kontrol vakum industri

Pertanyaan yang Sering Diajukan (FAQ)

Q

1. Untuk apa pengukur tekanan vakum kapasitif digunakan?

A

Pengukur tekanan vakum kapasitif digunakan untuk mengukur tekanan vakum rendah dalam sistem proses seperti ruang semikonduktor, peralatan PECVD, sterilisator plasma, mesin pelapis vakum, dan sistem kontrol vakum industri.
Q

2. Rentang tekanan apa saja yang tersedia untuk pengukur vakum ini?

A

Rentang yang tersedia meliputi 0 hingga 1 Torr, 0 hingga 10 Torr, 0 hingga 100 Torr, dan 0 hingga 1000 Torr. Versi 0 hingga 10 Torr umumnya digunakan untuk pemantauan proses vakum rendah yang presisi.
Q

3. Sinyal keluaran apa saja yang didukung oleh pengukur tekanan vakum ini?

A

Sensor ini mendukung opsi keluaran tegangan standar termasuk 0 hingga 10 VDC dan 0 hingga 5 VDC, sehingga cocok untuk integrasi PLC, pengontrol, dan sistem akuisisi data.
Q

4. Dapatkah JW-IoT menyediakan pengukur vakum kapasitif ini untuk proyek OEM?

A

Ya. JW-IoT dapat mendukung pasokan OEM dan berbasis proyek untuk pengukur tekanan vakum kapasitif, termasuk pemilihan rentang, konfigurasi keluaran, koneksi proses, dan pencocokan aplikasi.
Q

5. Apakah sensor tersebut cocok untuk lingkungan gas korosif?

A

Media pengukuran harus berupa gas yang kompatibel dengan paduan nikel. Untuk gas korosif atau gas proses khusus, kompatibilitas material harus dipastikan sebelum pemilihan.
Q

6. Berapa waktu respons pengukur vakum ini?

A

Waktu responsnya ≤20 ms, yang memungkinkan pemantauan tekanan vakum dan kontrol proses yang cepat.
Q

7. Apakah JW-IoT mendukung integrasi dengan sistem pemantauan?

A

Ya. JW-IoT dapat menyediakan dukungan pemilihan sensor dan membantu mencocokkan pengukur vakum dengan sistem akuisisi data, pengontrol, atau platform pemantauan industri.
Q

8. Bahan apa saja yang digunakan pada alat ukur tersebut?

A

Casingnya terbuat dari baja tahan karat 304, dan diafragmanya terbuat dari paduan nikel untuk kinerja penginderaan vakum yang stabil.
Q

9. Mengapa memilih JW-IoT untuk produk pengukuran tekanan vakum?

A

JW-IoT menyediakan produk sensor industri dan dukungan solusi untuk pemantauan proses, otomatisasi, dan pengumpulan data berbasis IoT, membantu pelanggan memilih sensor yang sesuai untuk integrasi sistem yang andal.