LarProdutosSensores industriais automáticosManômetro capacitivo de vácuo de 0 a 10 Torr
  • Imagem do produto: Manômetro capacitivo de vácuo
  • Manômetro de vácuo para esterilizador de plasma
  • Sensor capacitivo de vácuo para deposição de filmes finos

Manômetro capacitivo de vácuo de 0 a 10 Torr

Principais características

  • Alta precisão e excelente estabilidade a longo prazo.
  • Princípio de detecção capacitiva metálica para medição confiável em vácuo
  • Diafragma de liga de níquel com boa resistência à corrosão e ao desgaste.
  • Adequado para faixas de baixa pressão de vácuo de 0 a 1 Torr até 0 a 1000 Torr.
  • Tempo de resposta rápido, inferior a 20 ms.
  • Ampla faixa de temperatura de armazenamento e de fluidos de transmissão.
  • Alta resistência à sobrecarga para ambientes de processo exigentes.
  • Projeto de circuito anti-interferência otimizado
  • Opções de saída de tensão padrão para fácil integração do sistema
  • Carcaça em aço inoxidável 304SS para uso industrial durável.

Descrição do produto

1. Descrição

JW-VM01(JY11) O manômetro capacitivo de vácuo foi projetado para medições precisas de baixa pressão em aplicações industriais e científicas exigentes. Baseado na tecnologia de detecção capacitiva metálica e em um diafragma de liga de níquel, ele oferece saída linear estável, resposta rápida, resistência à corrosão e desempenho confiável em processos de semicondutores, PECVD, esterilização por plasma, nucleares e de revestimento a vácuo.

2. Visão geral do produto

JW-VM01(JY11) Este medidor de pressão de vácuo capacitivo metálico utiliza um diafragma de liga de níquel soldado entre duas extremidades de eletrodo. Quando a pressão de vácuo muda, a deformação do diafragma causa uma mudança na distância entre o diafragma e o eletrodo, gerando uma variação linear na capacitância. Através de condicionamento de sinal, amplificação, linearização e processamento anti-interferência dedicados, o sinal de capacitância é convertido em uma saída de tensão padrão para monitoramento e controle do processo.

Com carcaça em aço inoxidável, diafragma em liga de níquel, ampla faixa de temperatura de operação e alta estabilidade, este sensor de pressão a vácuo é adequado para aplicações que exigem medições de baixa pressão precisas e repetíveis em condições de processo severas.

Parâmetro Especificação
Tipo de produto Manômetro de vácuo capacitivo de metal
Faixa de medição 0 a 1 Torr 0 a 10 Torr 0 a 100 Torr 0 a 1000 Torr
Fonte de energia 15 a 30 VCC
Sinal de saída 0 a 10 VCC 0 a 5 VCC
Precisão 0,2%FS 0,5%FS 1,0%FS a 25°C
Temperatura de compensação 0 a 50°C
Temperatura do meio -20 a 80°C
Temperatura de armazenamento -40 a 85°C
Deriva de temperatura ≤0,04%FS por °C
Estabilidade 0,5%FS por ano
Tempo de resposta ≤20 ms
Meio de Medição Gás compatível com liga de níquel
Material de construção Aço inoxidável 304
Material do diafragma Liga de níquel
Consumo atual ≤10 mA
Carga de saída >10K Ω
Conexão elétrica Veja a opção de fiação
Conexão de Processos Veja o desenho esquemático.

3. Configuração típica do modelo

Item Configuração
Modelo do produto Manômetro de vácuo capacitivo metálico WM01
Faixa 0 a 10 Torr
Saída 0 a 10 VCC
Fonte de energia 15 a 30 VCC
Conexão de Processos KF16
Conector Elétrico DB 15

3. Cenários de Aplicação

  • Câmaras de processamento de semicondutores
  • Controle do processo PECVD Esterilizadores de plasma
  • sistemas de vácuo da indústria nuclear
  • Equipamento de revestimento a vácuo
  • Monitoramento de processos em baixo vácuo
  • Sistemas de vácuo de laboratório
  • Equipamentos industriais de controle de vácuo

Perguntas frequentes

  • Q

    1. Para que serve um manômetro de vácuo capacitivo?

    A

    Um manômetro capacitivo de vácuo é usado para medir baixas pressões de vácuo em sistemas de processo, como câmaras de semicondutores, equipamentos PECVD, esterilizadores de plasma, máquinas de revestimento a vácuo e sistemas industriais de controle de vácuo.

  • Q

    2. Quais são as faixas de pressão disponíveis para este vacuômetro?

    A

    As faixas disponíveis incluem 0 a 1 Torr, 0 a 10 Torr, 0 a 100 Torr e 0 a 1000 Torr. A versão de 0 a 10 Torr é comumente usada para monitoramento preciso de processos com baixo vácuo.

  • Q

    3. Quais sinais de saída este manômetro de vácuo suporta?

    A

    O medidor suporta opções de saída de tensão padrão, incluindo 0 a 10 VCC e 0 a 5 VCC, tornando-o adequado para integração com PLCs, controladores e sistemas de aquisição de dados.

  • Q

    4. A JW-IoT pode fornecer este medidor de vácuo capacitivo para projetos OEM?

    A

    Sim. A JW-IoT oferece suporte ao fornecimento de medidores de pressão a vácuo capacitivos para OEMs e projetos específicos, incluindo seleção de faixa de medição, configuração de saída, conexão ao processo e adequação à aplicação.

  • Q

    5. O sensor é adequado para ambientes com gases corrosivos?

    A

    O meio de medição deve ser compatível com gases contendo liga de níquel. Para gases corrosivos ou gases de processo especiais, a compatibilidade do material deve ser confirmada antes da seleção.

  • Q

    6. Qual é o tempo de resposta deste vacuômetro?

    A

    O tempo de resposta é ≤20 ms, o que permite um monitoramento rápido da pressão de vácuo e controle do processo.

  • Q

    7. O JW-IoT suporta integração com sistemas de monitoramento?

    A

    Sim. A JW-IoT pode fornecer suporte na seleção de sensores e ajudar a compatibilizar o vacuômetro com sistemas de aquisição de dados, controladores ou plataformas de monitoramento industrial.

  • Q

    8. Quais materiais são usados no medidor?

    A

    A carcaça é feita de aço inoxidável 304 e o diafragma é feito de liga de níquel para um desempenho estável na detecção de vácuo.

  • Q

    9. Por que escolher a JW-IoT para produtos de medição de pressão a vácuo?

    A

    A JW-IoT fornece produtos de sensores industriais e suporte a soluções para monitoramento de processos, automação e coleta de dados baseada em IoT, ajudando os clientes a selecionar os sensores adequados para uma integração de sistema confiável.

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