JW-VM01(JY11) O manômetro capacitivo de vácuo foi projetado para medições precisas de baixa pressão em aplicações industriais e científicas exigentes. Baseado na tecnologia de detecção capacitiva metálica e em um diafragma de liga de níquel, ele oferece saída linear estável, resposta rápida, resistência à corrosão e desempenho confiável em processos de semicondutores, PECVD, esterilização por plasma, nucleares e de revestimento a vácuo.
2. Visão geral do produto
JW-VM01(JY11) Este medidor de pressão de vácuo capacitivo metálico utiliza um diafragma de liga de níquel soldado entre duas extremidades de eletrodo. Quando a pressão de vácuo muda, a deformação do diafragma causa uma mudança na distância entre o diafragma e o eletrodo, gerando uma variação linear na capacitância. Através de condicionamento de sinal, amplificação, linearização e processamento anti-interferência dedicados, o sinal de capacitância é convertido em uma saída de tensão padrão para monitoramento e controle do processo.
Com carcaça em aço inoxidável, diafragma em liga de níquel, ampla faixa de temperatura de operação e alta estabilidade, este sensor de pressão a vácuo é adequado para aplicações que exigem medições de baixa pressão precisas e repetíveis em condições de processo severas.
Parâmetro
Especificação
Tipo de produto
Manômetro de vácuo capacitivo de metal
Faixa de medição
0 a 1 Torr 0 a 10 Torr 0 a 100 Torr 0 a 1000 Torr
Fonte de energia
15 a 30 VCC
Sinal de saída
0 a 10 VCC 0 a 5 VCC
Precisão
0,2%FS 0,5%FS 1,0%FS a 25°C
Temperatura de compensação
0 a 50°C
Temperatura do meio
-20 a 80°C
Temperatura de armazenamento
-40 a 85°C
Deriva de temperatura
≤0,04%FS por °C
Estabilidade
0,5%FS por ano
Tempo de resposta
≤20 ms
Meio de Medição
Gás compatível com liga de níquel
Material de construção
Aço inoxidável 304
Material do diafragma
Liga de níquel
Consumo atual
≤10 mA
Carga de saída
>10K Ω
Conexão elétrica
Veja a opção de fiação
Conexão de Processos
Veja o desenho esquemático.
3. Configuração típica do modelo
Item
Configuração
Modelo do produto
Manômetro de vácuo capacitivo metálico WM01
Faixa
0 a 10 Torr
Saída
0 a 10 VCC
Fonte de energia
15 a 30 VCC
Conexão de Processos
KF16
Conector Elétrico
DB 15
3. Cenários de Aplicação
Câmaras de processamento de semicondutores
Controle do processo PECVD Esterilizadores de plasma
sistemas de vácuo da indústria nuclear
Equipamento de revestimento a vácuo
Monitoramento de processos em baixo vácuo
Sistemas de vácuo de laboratório
Equipamentos industriais de controle de vácuo
Perguntas frequentes
Q
1. Para que serve um manômetro de vácuo capacitivo?
A
Um manômetro capacitivo de vácuo é usado para medir baixas pressões de vácuo em sistemas de processo, como câmaras de semicondutores, equipamentos PECVD, esterilizadores de plasma, máquinas de revestimento a vácuo e sistemas industriais de controle de vácuo.
Q
2. Quais são as faixas de pressão disponíveis para este vacuômetro?
A
As faixas disponíveis incluem 0 a 1 Torr, 0 a 10 Torr, 0 a 100 Torr e 0 a 1000 Torr. A versão de 0 a 10 Torr é comumente usada para monitoramento preciso de processos com baixo vácuo.
Q
3. Quais sinais de saída este manômetro de vácuo suporta?
A
O medidor suporta opções de saída de tensão padrão, incluindo 0 a 10 VCC e 0 a 5 VCC, tornando-o adequado para integração com PLCs, controladores e sistemas de aquisição de dados.
Q
4. A JW-IoT pode fornecer este medidor de vácuo capacitivo para projetos OEM?
A
Sim. A JW-IoT oferece suporte ao fornecimento de medidores de pressão a vácuo capacitivos para OEMs e projetos específicos, incluindo seleção de faixa de medição, configuração de saída, conexão ao processo e adequação à aplicação.
Q
5. O sensor é adequado para ambientes com gases corrosivos?
A
O meio de medição deve ser compatível com gases contendo liga de níquel. Para gases corrosivos ou gases de processo especiais, a compatibilidade do material deve ser confirmada antes da seleção.
Q
6. Qual é o tempo de resposta deste vacuômetro?
A
O tempo de resposta é ≤20 ms, o que permite um monitoramento rápido da pressão de vácuo e controle do processo.
Q
7. O JW-IoT suporta integração com sistemas de monitoramento?
A
Sim. A JW-IoT pode fornecer suporte na seleção de sensores e ajudar a compatibilizar o vacuômetro com sistemas de aquisição de dados, controladores ou plataformas de monitoramento industrial.
Q
8. Quais materiais são usados no medidor?
A
A carcaça é feita de aço inoxidável 304 e o diafragma é feito de liga de níquel para um desempenho estável na detecção de vácuo.
Q
9. Por que escolher a JW-IoT para produtos de medição de pressão a vácuo?
A
A JW-IoT fornece produtos de sensores industriais e suporte a soluções para monitoramento de processos, automação e coleta de dados baseada em IoT, ajudando os clientes a selecionar os sensores adequados para uma integração de sistema confiável.