مقياس ضغط فراغي سعوي من 0 إلى 10 تور

ال مقياس ضغط فراغي سعوي JW-VM01(JY11) تم تصميمه لقياس ضغط الفراغ المنخفض بدقة في معدات العمليات الصناعية وأنظمة الفراغ العلمية.

استنادًا إلى مبدأ الاستشعار السعوي المعدني, يقوم المقياس بتحويل تشوه الغشاء الناتج عن تغيرات الضغط إلى خرج كهربائي ثابت. تتوفر نطاقات قياس كاملة متعددة من من 0-1 تور إلى 0-1000 تور, بينما تكوين 0-10 تور وهو مناسب للتطبيقات التي تتطلب مراقبة دقيقة وتحكمًا في ضغط الفراغ المنخفض.

بفضل غشاء الاستشعار المصنوع من سبيكة النيكل، والهيكل المصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ 304، ومخرج الجهد القياسي، وزمن الاستجابة الذي لا يتجاوز 20 مللي ثانية، يمكن دمج هذا المستشعر في معدات التفريغ، وأجهزة التحكم، وأنظمة جمع البيانات. وهو جزء من مجموعة JW-IoT الأوسع نطاقًا أجهزة الاستشعار الصناعية الأوتوماتيكية مجموعة أدوات لمراقبة الضغط والمستوى والتدفق والعمليات.

ما هو مقياس ضغط الفراغ السعوي؟

يقيس مقياس ضغط الفراغ السعوي الضغط عن طريق اكتشاف حركة غشاء مرن.

داخل JW-VM01(JY11), يتم وضع غشاء مصنوع من سبيكة النيكل بين هياكل الأقطاب الكهربائية. عندما يتغير الضغط المطبق على الغشاء، يتشوه الغشاء وتتغير المسافة بين الغشاء والقطب الكهربائي.

وينتج عن ذلك تغيير مماثل في السعة.

ثم تقوم الإلكترونيات الداخلية بمعالجة الإشارة وتضخيمها وتخطيطها ومعالجة التداخل قبل تحويل القياس إلى خرج جهد قياسي.

يُستخدم مبدأ القياس هذا على نطاق واسع في التطبيقات التي تتطلب قياسًا مستقرًا وقابلًا للتكرار للضغط المنخفض.

مبدأ عمل مقياس الفراغ السعوي JW-VM01(JY11)

يمكن تلخيص عملية القياس في أربع خطوات:

1. الضغط يؤثر على الحجاب الحاجز

يدخل غاز العملية من خلال وصلة الفراغ ويضغط على غشاء الاستشعار المصنوع من سبيكة النيكل.

2. تغيرات وضع الحجاب الحاجز

مع تغير الضغط، يتشوه الحجاب الحاجز تبعاً لذلك.

3. تغيرات السعة

يؤدي الإزاحة إلى تغيير المسافة بين الحجاب الحاجز والقطب الكهربائي، مما ينتج عنه تغيير قابل للقياس في السعة.

4. يتم توليد إشارة كهربائية

تقوم الإلكترونيات الداخلية بمعالجة الإشارة وتخطيطها وتحويلها إلى معيار خرج 0-10 فولت تيار مستمر أو 0-5 فولت تيار مستمر.

ويمكن بعد ذلك استخدام إشارة الجهد الناتجة بواسطة وحدة تحكم أو نظام جمع بيانات أو معدات مراقبة العمليات المتوافقة الأخرى.

المواصفات الفنية

التكوين النموذجي 0-10 تور

للتطبيقات التي تتطلب مقياس فراغ سعوي من 0 إلى 10 تور, ، التكوين النموذجي لجهاز JW-VM01 هو:

يجب التأكد من التكوين الدقيق وفقًا لنطاق القياس المطلوب، والمخرجات، والوصلة الميكانيكية قبل الطلب.

لماذا نستخدم مقياس فراغ سعوي من 0 إلى 10 تور؟

غالباً ما تتطلب أنظمة التفريغ أكثر من مجرد اكتشاف ما إذا كان هناك فراغ أم لا.

في معدات العمليات، قد يلزم قياس مستوى الضغط باستمرار حتى يتمكن المشغلون أو المتحكمون من مراقبة كيفية تصرف الحجرة أثناء الإخلاء أو إدخال الغاز أو تشغيل العملية.

A مقياس ضغط فراغي من 0 إلى 10 تور يوفر نطاق قياس كامل محدد لهذه التطبيقات ذات الضغط المنخفض.

يقوم جهاز JW-VM01 بتحويل الضغط المقاس إلى إشارة جهد مستمرة، مما يسمح باستخدام معلومات الضغط بواسطة معدات المراقبة أو التحكم في اتجاه التدفق.

تشمل التطبيقات النموذجية ما يلي:

• مراقبة الفراغ في غرفة المعالجة
• التحكم في معدات التفريغ
• مراقبة عمليات الغاز منخفض الضغط
• أنظمة الطلاء بالتفريغ
• معدات التفريغ المختبرية
• أنظمة معالجة البلازما

مراقبة غرفة معالجة أشباه الموصلات

تستخدم عمليات تصنيع أشباه الموصلات وعمليات الفراغ ذات الصلة بيئات غرف التحكم خلال مراحل الإنتاج المختلفة.

يمكن استخدام مقياس الفراغ السعوي JW-VM01 كمكون استشعار للضغط في غرف العمليات المتوافقة حيث يقع نطاق الفراغ المطلوب ضمن تكوينات المستشعر المتاحة.

تشمل المجموعات الكاملة المتاحة ما يلي:

• 1 تور
• 10 تور
• 100 تور
• 1000 تور

وهذا يسمح باختيار نطاق القياس وفقًا لضغط العملية المطلوب.

ال إصدار 0-10 تور يُعد هذا الأمر ذا أهمية خاصة عندما تكون هناك حاجة إلى نطاق قياس مخصص للضغط المنخفض.

قياس ضغط الفراغ في عملية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما

تستخدم تقنية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD) ظروف معالجة مضبوطة داخل حجرة مفرغة من الهواء. وللحصول على معلومات أساسية عامة حول قياس ضغط الفراغ ومعايرته، يمكن للمهندسين الرجوع إلى... قياسات الضغط والفراغ من المعهد الوطني للمعايير والتقنية موارد.

يُعد الضغط أحد المعايير التي قد يلزم قياسها أثناء تشغيل النظام.

يوفر جهاز JW-VM01 خرج جهد مستمر يمثل ضغط الفراغ المقاس، مما يسمح بتوصيله بمعدات التحكم أو جمع البيانات المتوافقة.

عند اختيار مقياس لمعدات الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD)، يجب على المهندسين التأكد مما يلي:

• نطاق الضغط الكامل المطلوب
• دقة القياس المطلوبة
• توافق غازات المعالجة
• اتصال العملية
• موصل كهربائي
• جهد الخرج المطلوب

يجب تقييم توافق الغاز وفقًا لـ مادة غشاء سبيكة النيكل قبل الاستخدام.

معدات الطلاء بالتفريغ

تتطلب معدات الطلاء بالتفريغ مراقبة الضغط أثناء إخلاء الحجرة وتشغيل العملية.

يمكن استخدام مقياس ضغط الفراغ السعوي كجزء من نظام مراقبة الضغط حيث يتوافق نطاق قياسه وتوافق المواد مع متطلبات التطبيق.

بالنسبة لجهاز JW-VM01، تتراوح النطاقات المتاحة من من 0-1 تور إلى 0-1000 تور, ، مما يوفر خيارات مختلفة لمصنعي معدات التفريغ ومكاملين الأنظمة.

إن جهد خرجها القياسي يجعلها مناسبة للتوصيل بأجهزة المراقبة والتحكم الإلكترونية المتوافقة.

معدات التعقيم بالبلازما

تُستخدم ظروف الفراغ أيضًا في بعض معدات تعقيم البلازما.

يمكن لجهاز JW-VM01 توفير قياس مستمر للضغط لأقسام الفراغ المتوافقة مع هذه الأنظمة.

إنه زمن استجابة ≤ 20 مللي ثانية يسمح ذلك بانعكاس تغيرات الضغط بسرعة في إشارة الخرج.

ومع ذلك، ينبغي على المستخدمين اختيار المقياس وفقًا لنطاق ضغط التشغيل الفعلي والتأكد من أن غاز العملية متوافق مع غشاء الاستشعار المصنوع من سبيكة النيكل.

أنظمة التفريغ المختبرية

قد تتطلب مختبرات الأبحاث وأنظمة الاختبار قياسًا مستمرًا للضغط في غرف التفريغ أو المعدات التجريبية أو منصات تطوير العمليات.

يسمح التصميم المدمج لإخراج الطاقة الكهربائية لجهاز JW-VM01 بالعمل كعنصر استشعار للضغط ضمن نظام قياس أكبر.

بحسب التطبيق، يمكن للمهندسين الاختيار من بين ما يلي:

• 0-1 تور
• 0-10 تور
• 0–100 تور
• 0–1000 تور

ينبغي أن يتطابق نطاق القياس الكامل المختار مع ضغط التشغيل المتوقع قدر الإمكان عمليًا.

التحكم في عمليات الفراغ الصناعي

غالباً ما تجمع أنظمة التفريغ الصناعية بين عدة مكونات، مثل:

غرفة التفريغ → مضخة التفريغ → مستشعر الضغط → وحدة التحكم → معدات المعالجة

ضمن هذا التصميم، يوفر جهاز JW-VM01 إشارة قياس الضغط. بالنسبة للمشاريع التي تتطلب دمج أجهزة الاستشعار في بنية مراقبة مصنع أوسع، استكشف منتجات JW-IoT. مراقبة إنترنت الأشياء الصناعية حلول.

إنه خرج جهد كهربائي من 0 إلى 10 فولت أو من 0 إلى 5 فولت يمكن توصيلها بوحدات تحكم متوافقة أو بأجهزة جمع البيانات.

يقيس المستشعر نفسه الضغط؛ وتعتمد أي منطق تحكم آلي أو وظائف إنذار أو اتصال عن بعد على وحدة التحكم الخارجية أو نظام المراقبة المستخدم مع المقياس.

اختيار نطاق القياس الصحيح

يُعد اختيار النطاق الصحيح أمراً مهماً عند تحديد مقياس الفراغ السعوي.

يتوفر جهاز JW-VM01 بأربعة نطاقات مدرجة:

0-1 تور

بالنسبة للتطبيقات التي يتركز فيها القياس المطلوب ضمن نطاق ضغط كامل منخفض.

0-10 تور

يُعد هذا التكوين الرئيسي لمراقبة العمليات ذات الفراغ المنخفض، وهو التكوين الأساسي الموضح في صفحة هذا المنتج.

0–100 تور

بالنسبة للعمليات التي تعمل ضمن نطاق ضغط أوسع.

0–1000 تور

للتطبيقات التي تتطلب القياس عبر نطاق ضغط كامل أعلى بكثير.

ينبغي أن يستند اختيار النطاق الصحيح إلى ضغط العملية المتوقع بدلاً من اختيار أوسع نطاق ممكن تلقائياً.

خيارات إشارة الخرج

يدعم جهاز JW-VM01 خيارين قياسيين لخرج الجهد:

• 0-10 فولت تيار مستمر
• 0-5 فولت تيار مستمر

قبل الطلب، يجب على المستخدمين التحقق من نطاق الإدخال التناظري الذي يدعمه جهاز التحكم أو نظام الاستحواذ الخاص بهم.

متطلبات الحمل الناتج هي:

>10 كيلو أوم

جهد تغذية المستشعر هو:

15-30 فولت تيار مستمر

الاستهلاك الحالي هو:

≤10 مللي أمبير

ينبغي مراعاة هذه المواصفات عند تصميم واجهة الطاقة والإشارة.

توافق المواد

يتم تصنيع غلاف المستشعر من الفولاذ المقاوم للصدأ 304, بينما يُصنع الغشاء الحساس للضغط من سبيكة النيكل.

وفقًا لمواصفات المنتج الحالية، يجب أن تكون وسيلة القياس هي:

غاز متوافق مع سبائك النيكل.

تُعد هذه النقطة مهمة لأنظمة التفريغ التي تستخدم غازات معالجة خاصة.

لذا، لا ينبغي اختيار مقياس الضغط بناءً على نطاق الضغط فقط. بل يجب أيضاً التأكد من توافق وسط العملية الفعلي مع مادة الاستشعار المبللة قبل التركيب.

بالنسبة للغازات المسببة للتآكل أو الغازات الخاصة، يرجى تزويد JW-IoT بمعلومات عن تركيب الغاز أو التطبيق قبل اختيار النموذج النهائي.

اعتبارات درجة الحرارة

معايير درجة الحرارة المحددة هي:

• درجة حرارة التعويض: 0–50 درجة مئوية
• درجة حرارة الوسائط: -20–80 درجة مئوية
• درجة حرارة التخزين: -40–85 درجة مئوية
• انحراف درجة الحرارة: ≤0.04%FS/°C

بالنسبة لتطبيقات القياس الدقيق، ينبغي بالتالي اعتبار درجة حرارة التشغيل جزءًا من تصميم النظام ككل.

تكامل النظام النموذجي

يمكن أن يشمل التكامل النموذجي ما يلي:

غرفة التفريغ
↓
مقياس ضغط الفراغ السعوي JW-VM01
↓
0–10 فولت / 0–5 فولت إشارة تناظرية
↓
وحدة التحكم أو نظام جمع البيانات
↓
مراقبة/التحكم في العمليات

يعمل جهاز JW-VM01 كمكون استشعار الضغط ضمن هذه البنية.

لتلبية متطلبات الاستشعار الصناعية الأوسع، استكشف JW-IoT أجهزة الاستشعار الصناعية الأوتوماتيكية.

للاطلاع على المشاريع التي تتضمن أجهزة الاستشعار، وجمع البيانات، والمراقبة الصناعية الذكية، تفضل بزيارة مراقبة إنترنت الأشياء الصناعية.

التطبيقات

يمكن اعتبار مقياس ضغط الفراغ السعوي JW-VM01 مناسبًا للتطبيقات المتوافقة، بما في ذلك:

• غرف معالجة أشباه الموصلات
• معدات عملية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما
• أجهزة تعقيم البلازما
• معدات الطلاء بالتفريغ
• أنظمة الفراغ الصناعية
• أنظمة التفريغ المختبرية
• مراقبة العمليات في ظروف الفراغ المنخفض
• أنظمة الفراغ في الصناعة النووية
• معدات التحكم في الفراغ

ينبغي أن يراعي الاختيار النهائي دائماً نطاق الضغط، ومتطلبات الدقة، وتوافق الوسائط، ونوع الاتصال، وواجهة النظام.

كيفية اختيار التكوين الصحيح لجهاز JW-VM01

عند طلب عرض أسعار أو توصية فنية، من المفيد تقديم المعلومات التالية:

1. نطاق الضغط المطلوب
   على سبيل المثال: 0-10 تور.
2. المخرجات المطلوبة
   0-10 فولت أو 0-5 فولت.
3. الدقة المطلوبة
   تأكد من خيار الدقة المطلوب للمشروع.
4. غاز أو وسط العملية
   ويكتسب هذا الأمر أهمية خاصة عند استخدام غازات خاصة أو غازات يحتمل أن تكون قابلة للتآكل.
5. اتصال العملية
   تأكد من توصيل جهاز الشفط المطلوب.
6. التوصيل الكهربائي
   تأكد من نوع الموصل المطلوب للجهاز.
7. درجة حرارة التشغيل
   قم بتوفير الوسائط المتوقعة والظروف المحيطة عند الاقتضاء.

إن توفير هذه المعلومات يساعد على تجنب اختيار مقياس الضغط بناءً على نطاق الضغط فقط.

قياس الضغط والفراغ الصناعي بتقنية إنترنت الأشياء من JW

توفر شركة JW-IoT منتجات استشعار صناعية لتطبيقات مراقبة الضغط والفراغ والعمليات.

بالنسبة للمشاريع التي تتضمن نظام قياس صناعي أوسع، تشمل فئات المنتجات ذات الصلة ما يلي:

• أجهزة الاستشعار الصناعية الأوتوماتيكية
• أجهزة إرسال ضغط عالية الدقة
• أجهزة نقل الضغط الصناعية
• أجهزة إرسال الضغط التفاضلي السعوية
• مراقبة إنترنت الأشياء الصناعية

بالنسبة للمشروع الجديد، يرجى تحديد نطاق القياس، وظروف العملية، والإشارة المطلوبة، ومتطلبات الاتصال حتى يمكن تقييم تكوين المستشعر المناسب.

طلب تكوين مقياس الفراغ

إذا كنت تقوم باختيار مقياس ضغط فراغي سعوي لمعدات أشباه الموصلات، والترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD)، والطلاء الفراغي، ومعالجة البلازما، وأنظمة الفراغ المختبرية، أو التحكم في الفراغ الصناعي, أرسل متطلباتك إلى JW-IoT:

نطاق الضغط + القدرة + الدقة + غاز العملية + وصلة العملية + الوصلة الكهربائية

يمكن لـ JW-IoT بعد ذلك تقييم المناسب JW-VM01(JY11) إعدادات المشروع.

يستكشف: أجهزة الاستشعار الصناعية الأوتوماتيكية
حل: مراقبة إنترنت الأشياء الصناعية
للتواصل مع شركة JW-IoT: أرسل متطلبات قياس الفراغ الخاصة بك لاختيار النموذج المناسب والحصول على دعم المشروع.